会议论文

已选条件：
× 09126, Germany^4
× Low pressures

全选【符合条件的数据共：1条】

1 CF3Br plasma cryo etching of low-k porous dielectric [会议论文]

作者:Clemente, I.^1,2;Koehler, N.^3;Miakonkikh, A.^1,2;等

关键词:DC voltage;Ellipsometric porosimetry;...

会议举办机构:Institute of Physics and Technology, Moscow

会议时间:2016

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摘要

京公网安备340104078870146号 878987797 028-85220240

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