• 已选条件：
  • × 100081, China^1
  • × Average diameter
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1 Femtosecond Laser Double Pulses Nanofabrication on Silicon [会议论文]

作者:Zhang, Jin^1;Wang, Sumei^1;Wang, Mengmeng^1;等

关键词:Average diameter;Femtosecond (fs) laser;...

会议举办机构:Laser Micro/Nano Fabrication Laboratory, School of Mechanical Engineering, Beijing Institute of Technology, Beijing

会议时间:2019

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