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  • × 197376, Russia^1
  • × Abnormal glow discharge
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1 Magnetron with a sputtering unit for deposition of binary alloy films and solid solutions of two compounds [会议论文]

作者:Shapovalov, V.I.^1;Kozin, A.A.^1;Minzhulina, E.A.^1;等

关键词:Abnormal glow discharge;Binary solid solutions;...

会议举办机构:Saint Petersburg Electrotechnical University LETI, St. Petersburg

会议时间:2018

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