• 已选条件：
  • × 19th International Summer School on Vacuum, Electron and Ion Technologie
  • × Parallel plates
 全选  【符合条件的数据共：1条】

1 Radial profile of the electron energy distribution function in RF capacitive gas-discharge plasma [会议论文]

作者:Dimitrova, M.^1;Popov, Tsv^2;Puac, N.^3;等

关键词:Capacitively coupled plasmas;Electron energy distribution functions;...

会议举办机构:Acad. E. Djakov Institute of Electronics, Bulgarian Academy of Sciences, 72 Tzarigradsko Chaussee, Sofia

会议时间:2016

预览  |  原文链接  |  全文  [ 浏览：3 下载：0  ]