| The dormancy phase in LIGA micro-gears | |
| Aubry, Sylvie | |
| Sandia National Laboratories | |
| 关键词: 42 Engineering; Miniaturization; Phase Studies; Gears; Microelectronic Circuits; | |
| DOI : 10.2172/811183 RP-ID : SAND2003-8198 RP-ID : AC04-94AL85000 RP-ID : 811183 |
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| 美国|英语 | |
| 来源: UNT Digital Library | |
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