关于发布“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”国家科技重大专项2013年项目指南的通知

通知;规范性文件

中华人民共和国科学技术部

关键词: 项目;    专项;    申报;   

中国|中文

实施日期：2012-05-28，发布日期：2012-05-28

来源: 中华人民共和国科学技术部网站

【 摘 要 】

各有关单位： 为推动我国集成电路制造产业的发展，提升我国集成电路制造装备、工艺及材料技术的自主创新能力，充分调动国内力量为重大专项的有效实施发挥作用，国家科技重大专项“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”根据实施方案和“十二五”实施计划…………

【 授权许可】

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