期刊论文

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Open Physics
Multiaxis interferometric displacement measurement for local probe microscopy

Klapetek Petr¹ Lazar Josef² Šerý Mojmír² Hrabina Jan² Číp Ondřej²
[1] Czech Metrology Institute, Okružní 31, 638 00, Brno, Czech Republic;Institute of Scientific Instruments, Královopolská 147, 612 64, Brno, Czech Republic;
关键词: interferometry; nanometrology; microscopy;
DOI : 10.2478/s11534-011-0093-5
来源: DOAJ


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