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Open Physics
Growth and characterization of pulsed laser deposited ZnO thin films

Figura Daniel¹ Vincze Andrej² Michalka Miroslav² Bruncko Jaroslav²
[1] Department of Microelectronics, Slovak University of Technology, Ilkovicova 3, 812 19, Bratislava, Slovak Republic;International Laser Center, Ilkovicova 3, 812 19, Bratislava, Slovak Republic;
关键词: zno; thin film; pulsed laser deposition; laser ablation; zn target; zno target; 81.15.fg; 79.20.ds; 73.61.ga;
DOI : 10.2478/s11534-007-0027-4
来源: DOAJ


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