期刊论文

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Frattura ed Integrità Strutturale
Integrated structure for a resonant micro-gyroscope and accelerometer

C. Valzasina¹ A. Corigliano² V. Zega² C. Comi²
[1] AMS Division;Politecnico di Milano;
关键词: MEMS; Gyroscope; Accelerometer; Resonators.;
DOI : 10.3221/IGF-ESIS.29.29
来源: DOAJ


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