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Eastern-European Journal of Enterprise Technologies
Побудова теплового мікроелектромеханічного датчика

Egor Kiselev¹ Konstantin Turyshev¹ Tetyana Krytska¹ Nina Stroiteleva²
[1] Zaporizhzhia National UniversityZhukovskoho str., 66, Zaporizhzhia, Ukraine, 69600;Zaporizhzhia State Medical UniversityMaiakovskoho ave., 26, Zaporizhzhia, Ukraine, 69035;
关键词: mos transistor; bimorph membrane; sensitive element; pulse frequency; microcontroller;
DOI : 10.15587/1729-4061.2019.184443
来源: DOAJ

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