期刊论文详细信息
Eastern-European Journal of Enterprise Technologies | |
Побудова теплового мікроелектромеханічного датчика | |
Egor Kiselev1  Konstantin Turyshev1  Tetyana Krytska1  Nina Stroiteleva2  | |
[1] Zaporizhzhia National UniversityZhukovskoho str., 66, Zaporizhzhia, Ukraine, 69600;Zaporizhzhia State Medical UniversityMaiakovskoho ave., 26, Zaporizhzhia, Ukraine, 69035; | |
关键词: mos transistor; bimorph membrane; sensitive element; pulse frequency; microcontroller; | |
DOI : 10.15587/1729-4061.2019.184443 | |
来源: DOAJ |
【 授权许可】
Unknown