期刊论文详细信息
| Dyna | |
| RECUBRIMIENTOS DE NITRUROS METÁLICOS DEPOSITADOS CON UBM: TECNOLOGÍA EFICIENTE Y AMBIENTALMENTE LIMPIA | |
| JHONOLAYA1 DIANAMARULANDA1 SANDRARODIL1 | |
| 关键词: Sputtering con magnetron desbalanceado; UBM; nitruros metálicos; recubrimientos duros.; | |
| DOI : | |
| 来源: Universidad Nacional de Colombia | |
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【 摘 要 】
Elobjetivodeestainvestigaciónesestudiarlainfluenciadelaconfiguracióndelcampomagnéticosobrelosparámetrosdelplasmayalgunaspropiedadesde...
【 授权许可】
Unknown
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878987797
028-85220240
