| Acoustical Science and Technology | |
| Effect of sputtering geometry on (1120) textured ZnO piezofilm | |
| Yoshiaki Watanabe1 Mami Matsukawa1 Takahiko Yanagitani1 Yoshinori Miyamoto1 | |
| [1] Faculty of Engineering, Doshisha University | |
| 关键词: Piezoelectric film; Sputtering; Crystallite alignment; Zinc oxide; | |
| DOI : 10.1250/ast.27.53 | |
| 学科分类：声学和超声波 | |
| 来源: Acoustical Society of Japan | |
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