| Optica Applicata | |
| On the microstructure of TiHfOx thin films | |
| Agnieszka BORKOWSKA1 Jaroslaw DOMARADZKI1 Radoslaw WASILEWSKI1 Danuta KACZMAREK1 Eugeniusz L. PROCIOW1 Antoni CISZEWSKI1 | |
| 关键词: multicomponent oxide; thin film; magnetron sputtering; hot target; | |
| DOI : | |
| 学科分类：光谱学 | |
| 来源: Politechnika Wroclawska * Oficyna Wydawnicza / Wroclaw University of Technology | |
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