| Bulletin of the Korean chemical society | |
| DFT Study on the Gas Phase Decomposition of Tungsten Imido Guanidinate Complex W(NiPr)Cl3[iPrNC(NMe2)NiPr] for Chemical Vapor Deposition of Tungsten Carbonitride Films | |
| Yong Sun Won1 Sung Soo Park1 | |
| 关键词: Tungsten nitride; Guanidinate; Diffusion barrier; Density functional theory; | |
| DOI : | |
| 学科分类：化学（综合） | |
| 来源: Korean Chemical Society | |
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