AlN/Al2O3 Şablonlar Üzerindeki Yüksek Al İçerikli AlGaN epi-Tabakaların Büyütme Sıcaklığı Bağımlılığı

Cumhuriyet Science Journal

İlkay DEMİR¹ 

关键词: AlGaN;    MOVPE;    AlN;    Al2O3;    X-ışını kırınımı;    Atomik kuvvet mikroskobu;   

DOI  :  10.17776/csj.453576

学科分类：工程和技术（综合）

来源: Cumhuriyet University

【 摘 要 】

Bu çalışmada, yüksek Al içerikli AlGaN epi-tabakaların MOVPE (Metalorganik Buhar Fazı Epitaksi) büyütmesi ve karakterizasyon çalışmaları rapor edilmiştir. AlGaN epi-tabakaların kristal kalitesi ve yüzey morfolojisi analizi için yüksek çözünürlüklü X-ışını kırınımı (HRXRD) ve atomik kuvvet mikroskobu teknikleri kullanılmıştır. Büyütme sıcaklığının AlGaN epi-tabakalarının yapısal kalitesi ve yüzey morfolojisi üzerindeki rolü incelenmiştir. Büyütme ve ölçüm sonuçları AlN/Al 2 O 3 şablonu üzerine tek fazda AlGaN epi-tabakaların büyütüldüğünü göstermektedir. Artan büyütme sıcaklığının AlGaN'in Al içeriğini arttırdığı ve bunun AlGaN alaşım konsantrasyonunu kontrol etmeye olanak sağladığı sonucuna varılmıştır. Ayrıca, AlGaN epi-tabakalarındaki Al içeriğinin artışı pürüzsüz yüzeye yol açar  ki bu dislokasyon yoğunluğunun azaldığını belirtir.

【 授权许可】

CC BY-NC-ND