| Beilstein Journal of Nanotechnology | |
| Chemistry for electron-induced nanofabrication | |
| 关键词: electron-induced chemistry; FEBID; FEBIP; nanofabrication; nanolithography; | |
| DOI : 10.3762/bjnano.9.124 | |
| 学科分类：地球科学(综合) | |
| 来源: Beilstein - Institut zur Foerderung der Chemischen Wissenschaften | |
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