| Turkish Journal of Physics | |
| Preparation and Optimization of High Quality TiN Films | |
| ÖZLEM DUYAR1 | |
| 关键词: TiN; Magnetron Sputtering; Ion Bombardment; Optical transmission; | |
| DOI : | |
| 学科分类：物理（综合） | |
| 来源: Scientific and Technical Research Council of Turkey - TUBITAK | |
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